|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 29 van 33 gevonden artikelen
| Titel: |
Surface corrosion inhibition mechanism of sarcosine as a green novel inhibitor on a novel barrier layer material of cobalt in copper film CMP for GLSI |
| Auteur: |
Zhang, Yinchan Niu, Xinhuan Zhou, Jiakai Wang, Jianchao Yang, Chenghui Hou, Ziyang Zhu, Yebo Huang, Li |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 140 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 29 van 33 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |