|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 36 van 60 gevonden artikelen
| Titel: |
Proximity gettering design of silicon wafers using silicon hydride and hydrocarbon mixture molecular ion implantation technique |
| Auteur: |
Hirose, Ryo Kadono, Takeshi Onaka-Masada, Ayumi Okuyama, Ryosuke Kobayashi, Koji Suzuki, Akihiro Koga, Yoshihiro Kurita, Kazunari |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 135 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 36 van 60 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |