|
Paving the way toward the world's first 200mm SiC pilot line |
|
|
|
Titel: |
Paving the way toward the world's first 200mm SiC pilot line |
Auteur: |
Musolino, Mattia Xu, Xueping Wang, Hui Rengarajan, Varathajan Zwieback, Ilya Ruland, Gary Crippa, Danilo Mauceri, Marco Calabretta, Michele Messina, Angelo |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 135 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|