|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation on surface smoothing of silicon-on-insulator with gas phase hydrogen chloride etching |
| Auteur: |
Gao, Nan Gao, Yuan Chen, Meng Xu, Hongtao Xue, Zhongying Wei, Xing |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 130 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 30 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |