|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
New insights into acidic wet chemical silicon etching by HF/H2O–NOHSO4–H2SO4 solutions |
| Auteur: |
Patzig-Klein, Sebastian Roewer, Gerhard Kroke, Edwin |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 13 (2010) nr. 2 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |