|
The improvement of atomic layer deposited SiO2/4H-SiC interfaces via a high temperature forming gas anneal |
|
|
|
Titel: |
The improvement of atomic layer deposited SiO2/4H-SiC interfaces via a high temperature forming gas anneal |
Auteur: |
Renz, A.B. Vavasour, O.J. Gammon, P.M. Li, F. Dai, T. Antoniou, M. Baker, G.W.C. Bashar, E. Grant, N.E. Murphy, J.D. Mawby, P.A. Shah, V.A. |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 122 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Authors |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|