Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 27 van 36 gevonden artikelen
 
 
  Selective etching of p-GaN over Al0.25Ga0.75N in Cl2/Ar/O2 ICP plasma for fabrication of normally-off GaN HEMTs
 
 
Titel: Selective etching of p-GaN over Al0.25Ga0.75N in Cl2/Ar/O2 ICP plasma for fabrication of normally-off GaN HEMTs
Auteur: Taube, Andrzej
Kamiński, Maciej
Ekielski, Marek
Kruszka, Renata
Jankowska-Śliwińska, Joanna
Michałowski, Paweł P.
Zdunek, Joanna
Szerling, Anna
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 122 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2021
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 27 van 36 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland