|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
High-resolution X-ray diffraction as a tool to investigate the evolution of local stress in sub-micrometric Si lines isolated by periodic arrays of oxide-filled trenches |
| Auteur: |
Escoubas, S. Eberlein, M. Rohr, P. Thomas, O. |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 12 (2009) nr. 1-2 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |