|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 28 van 62 gevonden artikelen
| Titel: |
Electron-cyclotron resonance Ar plasma-induced electrical activation of B atoms without substrate heating in B doped Si epitaxial films on Si(100) |
| Auteur: |
Li, Wu Sakuraba, Masao Sato, Shigeo |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 107 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 28 van 62 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |