|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 25 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Quartz crystal microbalance for real-time monitoring chlorosilane gas transport in slim vertical cold wall chemical vapor deposition reactor |
| Auteur: |
Takahashi, Toshinori Otani, Mana Muroi, Mitsuko Irikura, Kenta Matsuo, Miya Yamada, Ayami Habuka, Hitoshi Ishida, Yuuki Ikeda, Shin-Ichi Hara, Shiro |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 106 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 25 van 30 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |