|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 7 gevonden artikelen
| Titel: |
Numerical scale-up study of silicon deposition using 2D slit nozzle sources |
| Auteur: |
Ghen, C. Boyd, I.D. |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 1 (1998) nr. 2 pagina's 12 p. |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 7 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |