|
Negative effect of vacancies on cubic symmetry, hardness and conductivity in hafnium nitride films |
|
|
|
Titel: |
Negative effect of vacancies on cubic symmetry, hardness and conductivity in hafnium nitride films |
Auteur: |
Hu, Chaoquan Zhang, Xiaobo Gu, Zhiqing Huang, Haihua Zhang, Sam Fan, Xiaofeng Zhang, Wei Wei, Qiang Zheng, Weitao |
Verschenen in: |
Scripta materialia |
Paginering: |
Jaargang 108 (2015) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Acta Materialia Inc. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|