|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Development of TiSiN CVD process using TiCl4/SiH4/NH3 chemistry for ULSI anti-oxidation barrier applications |
| Auteur: |
Jun, Keeyoung Shimogaki, Yukihiro |
| Verschenen in: |
Science and technology of advanced materials |
| Paginering: | Jaargang 5 (2004) nr. 5-6 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |