|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemical-reaction dependence of plasma parameter in reactive silane plasma |
| Auteur: |
Takai, Madoka Nishimoto, Tomonori Kondo, Michio Matsuda, Akihisa |
| Verschenen in: |
Science and technology of advanced materials |
| Paginering: | Jaargang 2 (2001) nr. 3-4 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |