|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
H-assisted plasma CVD of Cu films for interconnects in ultra-large-scale integration |
| Auteur: |
Shiratani, Masaharu Jin, Hong Jie Takenaka, Kosuke Koga, Kazunori Kinoshita, Toshio Watanabe, Yukio |
| Verschenen in: |
Science and technology of advanced materials |
| Paginering: | Jaargang 2 (2001) nr. 3-4 pagina's 11 p. |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |