|
Fabrication of high-aspect-ratio 5 μm ultra-small pitch indium bump arrays by vacuum thermal deposition under variable rate |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of high-aspect-ratio 5 μm ultra-small pitch indium bump arrays by vacuum thermal deposition under variable rate |
Auteur: |
Si, Yang Yang, ShunHu Shi, YuNa Wang, Wen Li, YongLiang Wang, QiongFang Yang, ChaoWei Zuo, DaFan Feng, YuanQing Zhao, GuiQin Liu, YanZhen Wang, XiangQian Li, XiongJun Yuan, ShouZhang |
Verschenen in: |
Infrared physics and technology |
Paginering: |
Jaargang 148 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|