|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope |
| Auteur: |
Sumomogi, Tsunetaka Nakamura, Masayoshi Endo, Toshiro Goto, Takayuki Kaji, Satoshi |
| Verschenen in: |
Materials characterization |
| Paginering: | Jaargang 48 (2002) nr. 2-3 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |