|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Design and control of a piezoelectric driven reticle assist device for prevention of reticle slip in lithography systems |
| Auteur: |
Amin-Shahidi, Darya Trumper, David L. |
| Verschenen in: |
Mechatronics |
| Paginering: | Jaargang 24 (2014) nr. 6 pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |