|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
The HARPSS process for fabrication of precision MEMS inertial sensors |
| Auteur: |
Ayazi, Farrokh |
| Verschenen in: |
Mechatronics |
| Paginering: | Jaargang 12 (2002) nr. 9-10 pagina's 15 p. |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |