|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
Analyses of composition and chemical shift of silicon oxynitride film using energy-filtering transmission electron microscope based spatially resolved electron energy loss spectroscopy |
| Auteur: |
Kimoto, K Kobayashi, K Aoyama, T Mitsui, Y |
| Verschenen in: |
Micron |
| Paginering: | Jaargang 30 (1999) nr. 2 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 12 gevonden artikelen
| volgende >> |