|
Study on direct etching of poly(tetrafluoroethylene) by high-energy heavy ion beams |
|
|
|
Titel: |
Study on direct etching of poly(tetrafluoroethylene) by high-energy heavy ion beams |
Auteur: |
Tsubokura, Hidehiro Oshima, Akihiro Oyama, Tomoko G. Takasawa, Yuya Fukutake, Naoyuki Okubo, Satoshi Yoshikawa, Taeko Oka, Toshitaka Murakami, Takeshi Hama, Yoshimasa Washio, Masakazu |
Verschenen in: |
Radiation physics and chemistry |
Paginering: |
Jaargang 92 (2013) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|