|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
Extreme ultraviolet (EUV) degradation of poly(olefin sulfone)s: Towards applications as EUV photoresists |
| Auteur: |
Lawrie, Kirsten Blakey, Idriss Blinco, James Gronheid, Roel Jack, Kevin Pollentier, Ivan Leeson, Michael J. Younkin, Todd R. Whittaker, Andrew K. |
| Verschenen in: |
Radiation physics and chemistry |
| Paginering: | Jaargang 80 (2011) nr. 2 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |