Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 9 van 20 gevonden artikelen
 
 
  Development of convolutional neural network based Gaussian process regression to construct a novel probabilistic virtual metrology in multi-stage semiconductor processes
 
 
Titel: Development of convolutional neural network based Gaussian process regression to construct a novel probabilistic virtual metrology in multi-stage semiconductor processes
Auteur: Wu, Xiaofei
Chen, Junghui
Xie, Lei
Chan, Lester Lik Teck
Chen, Chun-I
Verschenen in: Control engineering practice
Paginering: Jaargang 96 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2020
Inhoud:
Uitgever: Published by Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 9 van 20 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland