|
Self formation of Si nanostructured layer at the metal silicide/silicon interface |
|
|
|
Titel: |
Self formation of Si nanostructured layer at the metal silicide/silicon interface |
Auteur: |
Belousov, I.V. Gorchinskiy, Alexandr Lytvyn, Petro Kuznetsov, Gennadiy Popova, Galina Veblaya, Tatiana Zherebeskyy, Danila Lysko, Oleg Vysokolyan, Oleksandr Buzaneva, Eugenia |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. C, Biomimetic and supramolecular systems |
Paginering: |
Jaargang 23 (2003) nr. 1-2 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|