|
High-selectivity anisotropic etching of single-crystal diamond by H plasma using iron catalysis |
|
|
|
Titel: |
High-selectivity anisotropic etching of single-crystal diamond by H plasma using iron catalysis |
Auteur: |
Liu, Kang Lv, Zhijun Dai, Bing Shu, Guoyang Zhao, Jiwen Liu, Benjian Wang, Weihua Xue, Jingjing Yao, Kaili Sun, Mingqi Gao, Ge Wang, Yang Zhu, Jiaqi |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 86 () nr. C pagina's 186-192 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|