|
Fabrication of single crystal diamond microchannels for micro-electromechanical systems |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of single crystal diamond microchannels for micro-electromechanical systems |
Auteur: |
Fu, J. Zhu, T.F. Zhang, M.H. Zhang, X. Li, F.N. Liu, Z.C. Denu, G.A. Wang, Y.F. Zhao, D. Shao, G.Q. Chang, X.H. Wang, W. Zhang, J.W. Wang, H.X. Wang, J.J. Hou, X. |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 80 (2017) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|