|
PECVD of carbon by inverted fireballs: From sputtering, bias enhanced nucleation to deposition |
|
|
|
Titel: |
PECVD of carbon by inverted fireballs: From sputtering, bias enhanced nucleation to deposition |
Auteur: |
Knoll, P. Reynvaan, J. Mayer, M. Surnev, S. Geistlinger, P. Krenn, K. Ettinger, K. Prietl, C. Hohenau, A. Gruenwald, J. Kunert, B. Resel, R. |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 65 (2016) nr. C pagina's 9 p. |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|