|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 80 gevonden artikelen
| Titel: |
Comparative investigation of ECR-RIE patterns on Si and C faces of 6H-SiC using a CF 4 O2 gas mixture |
| Auteur: |
Bonnot, R. Syrkin, A.L. Lévêque, G. Bluet, J.M. Camassel, J. |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 6 (1997) nr. 10 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 80 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |