|
Planarization of diamond thin film surfaces by ion beam etching at grazing incidence angle |
|
|
|
Titel: |
Planarization of diamond thin film surfaces by ion beam etching at grazing incidence angle |
Auteur: |
Ilias, S. Sené, G. Möller, P. Stambouli, V. Pascallon, J. Bouchier, D. Gicquel, A. Tardieu, A. Anger, E. Ravet, M.F. |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 5 (1996) nr. 6-8 pagina's 5 p. |
Jaar: |
1996 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|