|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 83 gevonden artikelen
| Titel: |
Formation of crystalline silicon carbon nitride films by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition |
| Auteur: |
Chen, L.C. Yang, C.Y. Bhusari, D.M. Chen, K.H. Lin, M.C. Lin, J.C. Chuang, T.J. |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 5 (1996) nr. 3-5 pagina's 514-518 |
| Jaar: |
1996 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 83 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |