|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
X-ray reflectivity analysis on initial stage of diamond-like carbon film deposition on Si substrate by RF plasma CVD and on removal of the sub-surface layer by oxygen plasma etching |
| Auteur: |
Harigai, Toru Yasuoka, Yuki Nitta, Noriko Furuta, Hiroshi Hatta, Akimitsu |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 38 (2013) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 27 gevonden artikelen
| << vorige |