|
Fabrication of a diamond-based imprint mold by applying diamond CVD on silicon master molds for a glass microlens array |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of a diamond-based imprint mold by applying diamond CVD on silicon master molds for a glass microlens array |
Auteur: |
Takezawa, N. Yamanoi, T. Iizuka, K. Hiraide, T. Yoshikawa, H. Ando, Y. Mita, M. Oi, H. Takahashi, M. Yoshimoto, M. |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 20 (2011) nr. 7 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|