|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 78 van 85 gevonden artikelen
| Titel: |
Synthesis of methyl boron nitride film as low-k insulating film for LSI interconnection |
| Auteur: |
Aoki, Hidemitsu Tokuyama, Shinji Masuzumi, Takuro Hara, Makoto Mazumder, Motaharu Kabir Watanabe, Daisuke Kimura, Chiharu Sugino, Takashi |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 18 (2009) nr. 5-8 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 78 van 85 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |