|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 43 van 173 gevonden artikelen
| Titel: |
Cycle of two-step etching process using ICP for diamond MEMS applications |
| Auteur: |
Yamada, Takatoshi Yoshikawa, Hiromichi Uetsuka, Hiroshi Kumaragurubaran, Somu Tokuda, Norio Shikata, Shin-ichi |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 16 (2007) nr. 4-7 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 43 van 173 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |