|
Surface analysis and defect characterization of 4H–SiC wafers for power electronic device applications |
|
|
|
Titel: |
Surface analysis and defect characterization of 4H–SiC wafers for power electronic device applications |
Auteur: |
Scaltrito, L. Fanchini, G. Porro, S. Cocuzza, M. Giorgis, F. Pirri, C.F. Mandracci, P. Ricciardi, C. Ferrero, S. Sgorlon, C. Richieri, G. Merlin, L. |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 12 (2003) nr. 3-7 pagina's 3 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|