|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 87 van 208 gevonden artikelen
| Titel: |
High resistivity and low dielectric constant amorphous carbon nitride films: application to low-k materials for ULSI |
| Auteur: |
Aono, Masami Nitta, Shoji |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 11 (2002) nr. 3-6 pagina's 1219-1222 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 87 van 208 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |