|
Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces |
|
|
|
Titel: |
Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces |
Auteur: |
Nagai, M. Nakamura, Y. Yamada, T. Tabakoya, T. Matsumoto, T. Inokuma, T. Nebel, C.E. Makino, T. Yamasaki, S. Tokuda, N. |
Verschenen in: |
Diamond and related materials |
Paginering: |
Jaargang 103 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Authors |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|