|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
A comparative study of Ar and H2 as carrier gases for the growth of SiC films on Si(100) by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition at low temperature |
| Auteur: |
Lee, Wen-Horng Lin, Jing-Cheng Lee, Chiapyng Cheng, Huang-Chung Yew, Tri-Rung |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 10 (2001) nr. 11 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 26 gevonden artikelen
| volgende >> |