|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 40 van 165 gevonden artikelen
| Titel: |
Dry etching properties of boron carbon nitride (BCN) films using carbon fluoride gas |
| Auteur: |
Aoki, Hidemitsu Tokuyama, Shinji Sasada, Takashi Watanabe, Daisuke Mazumder, M.K. Kimura, Chiharu Sugino, Takashi |
| Verschenen in: |
Diamond and related materials |
| Paginering: | Jaargang 17 (2008) nr. 7-10 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 40 van 165 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |