|
Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application |
|
|
|
Titel: |
Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application |
Auteur: |
Girault, P. Azuelos, P. Lorrain, N. Poffo, L. Lemaitre, J. Pirasteh, P. Hardy, I. Thual, M. Guendouz, M. Charrier, J. |
Verschenen in: |
Optical materials |
Paginering: |
Jaargang 72 (2017) nr. C pagina's 596-601 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|