|
High spatial resolution ZnO scintillator for an in situ imaging device in EUV region |
|
|
|
Titel: |
High spatial resolution ZnO scintillator for an in situ imaging device in EUV region |
Auteur: |
Arita, Ren Nakazato, Tomoharu Shimizu, Toshihiko Yamanoi, Kohei Empizo, Melvin John Fernandez Hori, Tatsuhiro Fukuda, Kazuhito Minami, Yuki Sarukura, Nobuhiko Tanaka, Momoko Nishikino, Masaharu Fukuda, Tsuguo |
Verschenen in: |
Optical materials |
Paginering: |
Jaargang 36 (2014) nr. 12 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|