|
Ecofriendly silicon dioxide chemical vapor deposition for semiconductor devices using nitrogen monoxide gas source |
|
|
|
Titel: |
Ecofriendly silicon dioxide chemical vapor deposition for semiconductor devices using nitrogen monoxide gas source |
Auteur: |
Jeong, Yeojin Nguyen, Minh Phuong Song, Jang-Kun Kim, Yong-Sang Chung, Yung-Bin Jeon, Woo-Seok Jo, Jungyun Kim, Youngkuk Pham, Duy Phong Yi, Junsin |
Verschenen in: |
Optical materials |
Paginering: |
Jaargang 148 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|