|
Optical properties of multiple energy silicon implantation in silicon films using silicon-on-insulator targets |
|
|
|
Titel: |
Optical properties of multiple energy silicon implantation in silicon films using silicon-on-insulator targets |
Auteur: |
Li, Chen Ouyang, Lingxi Li, Xiaonan Xu, Congcong Xie, Jiyang Li, Yahui Tang, Shumin Ye, Shuming Yang, Jie Wang, Rongfei Qiu, Feng Wang, Juan Yang, Yu Wang, Chong |
Verschenen in: |
Optical materials |
Paginering: |
Jaargang 116 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|