|
Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers—X-ray comparative study |
|
|
|
Titel: |
Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers—X-ray comparative study |
Auteur: |
Anopchenko, A Jergel, M Majková, E Luby, Š Holý, V Aschentrup, A Kolina, I Cheol Lim, Y Haindl, G Kleineberg, U Heinzmann, U |
Verschenen in: |
Physica. B, Condensed matter |
Paginering: |
Jaargang 305 (2001) nr. 1 pagina's 7 p. |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|