|
X-ray scattering study of interface roughness correlation in Mo/Si and Ti/C multilayers for X-UV optics |
|
|
|
Titel: |
X-ray scattering study of interface roughness correlation in Mo/Si and Ti/C multilayers for X-UV optics |
Auteur: |
Jergel, M. Holý, V. Majková, E. Luby, Š. Senderák, R. Stock, H.J. Menke, D. Kleineberg, U. Heinzmann, U. |
Verschenen in: |
Physica. B, Condensed matter |
Paginering: |
Jaargang 253 (1998) nr. 1-2 pagina's 12 p. |
Jaar: |
1998 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|