|
Identification of getter defects in high-energy self-implanted silicon at R
p/2 |
|
|
|
Titel: |
Identification of getter defects in high-energy self-implanted silicon at R
p/2 |
Auteur: |
Krause-Rehberg, R. Börner, F. Redmann, F. Gebauer, J. Kögler, R. Kliemann, R. Skorupa, W. Egger, W. Kögel, G. Triftshäuser, W. |
Verschenen in: |
Physica. B, Condensed matter |
Paginering: |
Jaargang 308-310 (2001) nr. C pagina's 4 p. |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|