|
The effect of low energy helium implantation on the structural, vibrational, and piezoelectric properties of AlN thin films |
|
|
|
Titel: |
The effect of low energy helium implantation on the structural, vibrational, and piezoelectric properties of AlN thin films |
Auteur: |
Sharma, V. Natali, F. Kennedy, J. Leveneur, J. Fiedler, H. Murmu, P. Williams, G.V.M. |
Verschenen in: |
Physica. B, Condensed matter |
Paginering: |
Jaargang 601 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|