|
Negatively charged vacancy defects in 6H–SiC after low-energy proton implantation and annealing |
|
|
|
Titel: |
Negatively charged vacancy defects in 6H–SiC after low-energy proton implantation and annealing |
Auteur: |
Barthe, M.-F. Britton, D.T. Corbel, C. Hempel, A. Henry, L. Desgardin, P. Bauer-Kugelmann, W. Kögel, G. Sperr, P. Triftshäuser, W. |
Verschenen in: |
Physica. B, Condensed matter |
Paginering: |
Jaargang 308-310 (2001) nr. C pagina's 3 p. |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|