|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1575 van 1846 gevonden artikelen
| Titel: |
Superconductivity of reactivity sputtered TaN film for ULSI process |
| Auteur: |
Wakasugi, Katsuhiko Tokunaga, Mie Sumita, Taishi Kubota, Hiroshi Nagata, Masanori Honda, Yukio |
| Verschenen in: |
Physica. B, Condensed matter |
| Paginering: | Jaargang 239 (1997) nr. 1-2 pagina's 3 p. |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1575 van 1846 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |