|
Electrical properties of high-κ gate dielectrics: Challenges, current issues, and possible solutions |
|
|
|
Titel: |
Electrical properties of high-κ gate dielectrics: Challenges, current issues, and possible solutions |
Auteur: |
Houssa, M. Pantisano, L. Ragnarsson, L.-Å. Degraeve, R. Schram, T. Pourtois, G. De Gendt, S. Groeseneken, G. Heyns, M.M. |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. R, Reports |
Paginering: |
Jaargang 51 (2006) nr. 4-6 pagina's 49 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|